<kbd id='pwpau'></kbd><address id='sistc'><style id='zdsvb'></style></address><button id='vjfbj'></button>

          主分類
          A 農業
          B 作業;運輸
          C 化學;冶金
          D 紡織;造紙
          E 固定建築物
          F 機械工程、照明、加熱
          G 物理
          H 電學
          專利下載VIP
          公布日期
          2019-04-12 公布專利
          2019-04-09 公布專利
          2019-04-05 公布專利
          2019-04-02 公布專利
          2019-03-29 公布專利
          2019-03-26 公布專利
          2019-03-22 公布專利
          2019-03-19 公布專利
          2019-03-15 公布專利
          2019-03-12 公布專利
          更多 ?
          專利權人
          國家電網公司
          華為技術有限公司
          浙江大學
          中興通訊股份有限公司
          三星電子株式會社
          中國石油化工股份有限公司
          清華大學
          鴻海精密工業股份有限公司
          松下電器產業株式會社
          上海交通大學
          更多 ?

          E世博线上娱乐官网CMP設備承載台表面的處理方法有效

          申請號︰ CN201711130862.6 全文下載
          申請日︰ 2017-11-15 公開/公告日︰ 2019-04-12
          公開/公告號︰ CN107904646B 主分類號︰ C25D11/30
          申請/專利權人︰ 北京半導體專用設備研究所(中國電子科技集團公司第四十五研究所)
          發明/設計人︰ 楊師;費玖海;張志軍;李玉敏
          分類號︰ C25D11/30
          搜索關鍵詞︰ 承載台 前驅 氧化液 稀土鹽溶液 氧化膜 電流密度控制 二氧化 磨料 陽極氧化處理 醋酸 硼酸 電化學性能 腐蝕性溶劑 耐腐蝕性能 表面形成 力學性能 耐溶劑性 熱穩定性 研磨顆粒 丙三醇 氯化銨 鉻酸 硫酸 配制 損害
          我不想注冊,點擊直接下載立即登錄,下載文獻升級會員,免費下載

          該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于北京半導體專用設備研究所(中國電子科技集團公司第四十五研究所),未經北京半導體專用設備研究所(中國電子科技集團公司第四十五研究所)許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【】

           
          【摘要】︰
          發明提供了E世博线上娱乐官网CMP設備承載台表面的處理方法,其特征在于,包括如下步驟︰(A)配制氧化液,所述氧化液由硼酸、硫酸、醋酸、鉻酸、氯化銨、二氧化 磨料和丙三醇組成;(B)將CMP設備承載台面板采用稀土鹽溶液進行前驅處理,所述稀土鹽溶液中包括Ce(NO3)350?70g/L,Nd(NO3)340?60g/L,Ni(NO3)375?95g/和Y(NO3)315?45g/L;(C)將經過上述前驅處理的面板采用所述氧化液進行陽極氧化處理20?60min,電流密度控制在1?3A/dm2,處理溫度為30?40℃。通過采用本發明實施例的處理方法對CMP設備承載台表面處理後,在承載台表面形成氧化膜,並且該氧化膜經過了特殊的前驅處理過程中表現出了更優異的力學性能,電化學性能以及耐腐蝕性能,這樣不同尺寸研磨顆粒的腐蝕性溶劑流經承載台表面時,不會對承載台表面有任何損害,通過采用本發明特殊的處理方法,提升了承載台本身的抗腐蝕性、耐溶劑性以及熱穩定性。
           
          【主權項】︰
          1.E世博线上娱乐官网CMP設備承載台表面的處理方法,其特征在于,包括如下步驟︰(A)配制氧化液,所述氧化液由硼酸、硫酸、醋酸、鉻酸、氯化銨、二氧化 磨料和丙三醇組成;(B)將CMP設備承載台面板采用稀土鹽溶液進行前驅處理,所述稀土鹽溶液中包括Ce(NO3)350?70g/L,Nd(NO3)340?60g/L,Ni(NO3)375?95g/和Y(NO3)315?45g/L;(C)將經過上述前驅處理的面板采用所述氧化液進行陽極氧化處理20?60min,電流密度控制在1?3A/dm2,處理溫度為30?40℃。
          下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。
          我不想注冊,點擊直接下載立即登錄,下載文獻升級會員,免費下載

          本文鏈接︰http://www.loginjerseys.com/patent/201711130862.6/,轉載請聲明來源E世博网站網。

           
          地址︰ 100000 北京*** 國省代碼︰ 北京;11
          代理公司︰ 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371 代理人︰ 楊靜安
          權利要求書︰ 暫無信息 說明書︰ 暫無信息
          專利分類
          ×

          E世博网站|E世博线上娱乐官网|E世博备用网址|访问

          說明︰

          1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

          2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

          3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

          4、內容包括專利技術的結構示意圖、流程工藝圖技術構造圖

          5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

          請您登陸後,進行下載,點擊【登陸】 【注冊】

          關于E世博网站 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權聲明 網站地圖 友情鏈接 企業標識 聯系E世博网站

          E世博网站網在線咨詢

          400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

          咨詢在線客服咨詢在線客服
          tel code back_top